Cílem práce bylo vyvinout simulační software, který zkoumá vliv vibrací na signál získaný z white-light interferometrie a aplikovat získané dovednosti ve vývoji vývoji nanopozičního měřícího zařízení pracujícího na výše zmíněném principu. Teoretická část je věnována popisu vlastností světla a popisu optických metod pro zkoumání topografie povrchu. Díky popsaným principům bylo možné zlepšit měřící zařízení a zvýšit jeho konkurenceschopnost.
Anotace v angličtině
The aim of the thesis was to create a simulation tool inspecting the influence of vibration to evaluation signal obtained from white-light interferometry. The theoretical part is dedicated to introducing the properties of different illumination sources and describing optical methods for examining surface topography. The knowledge gained while working with the simulation tool was applied to the development of a nanopositioning measuring machine based on the white-light interferometry. The applied approaches led to improving the machine and increasing its competitiveness.
Klíčová slova
topografie, měření topografie povrchu, white-light interferometrie, vibrace
Cílem práce bylo vyvinout simulační software, který zkoumá vliv vibrací na signál získaný z white-light interferometrie a aplikovat získané dovednosti ve vývoji vývoji nanopozičního měřícího zařízení pracujícího na výše zmíněném principu. Teoretická část je věnována popisu vlastností světla a popisu optických metod pro zkoumání topografie povrchu. Díky popsaným principům bylo možné zlepšit měřící zařízení a zvýšit jeho konkurenceschopnost.
Anotace v angličtině
The aim of the thesis was to create a simulation tool inspecting the influence of vibration to evaluation signal obtained from white-light interferometry. The theoretical part is dedicated to introducing the properties of different illumination sources and describing optical methods for examining surface topography. The knowledge gained while working with the simulation tool was applied to the development of a nanopositioning measuring machine based on the white-light interferometry. The applied approaches led to improving the machine and increasing its competitiveness.
Klíčová slova
topografie, měření topografie povrchu, white-light interferometrie, vibrace
Seznámení se s principy bezkontaktních metod pro měření topografie povrchu.
Vytvoření numerického nástroje pro analýzu koherenční skenovací interferometrie.
Testování, analýza a optimalizace vyvíjeného profilometru NPMM-200.
Celkové zhodnocení výsledků.
Zásady pro vypracování
Seznámení se s principy bezkontaktních metod pro měření topografie povrchu.
Vytvoření numerického nástroje pro analýzu koherenční skenovací interferometrie.
Testování, analýza a optimalizace vyvíjeného profilometru NPMM-200.
Celkové zhodnocení výsledků.
Seznam doporučené literatury
[1] MALACARA, D. Optical shop testing. 3rd ed. Hoboken, N.J.: Wiley-Interscience, c2007. ISBN 0471484040. [2] SALLEH, B. E. A. , TEICH, M.C.: Základy fotoniky I,II , MATFYZPRESS, Praha, 1994-95.
Seznam doporučené literatury
[1] MALACARA, D. Optical shop testing. 3rd ed. Hoboken, N.J.: Wiley-Interscience, c2007. ISBN 0471484040. [2] SALLEH, B. E. A. , TEICH, M.C.: Základy fotoniky I,II , MATFYZPRESS, Praha, 1994-95.
Přílohy volně vložené
-
Přílohy vázané v práci
-
Převzato z knihovny
Ano
Plný text práce
Přílohy
Posudek(y) oponenta
Hodnocení vedoucího
Záznam průběhu obhajoby
Průběh obhajoby je zveřejněn pouze přihlášenému uživateli.